1.平板顯示器制造廢氣簡述

近年來，智能手機、平板電腦、液晶電視、筆記本電腦等電子產(chǎn)品受益于終端消費市場需求的持續(xù)增長，制造這些產(chǎn)品的平板顯示產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷壯大。平板顯示器是近年來發(fā)展較快的高新技術(shù)行業(yè)，平板顯示業(yè)已經(jīng)逐漸成為我國國民經(jīng)濟發(fā)展進程中一項必不可少的基礎(chǔ)性及戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。平板顯示行業(yè)制程過程中需要使用幾百種化學(xué)品，這就間接導(dǎo)致了平板制造業(yè)生產(chǎn)過程中的廢氣污染具有種類繁多、組分復(fù)雜特點，以及對工廠車間及周邊環(huán)境產(chǎn)生嚴重的影響，因此，必須對平板顯示器制造產(chǎn)生廢氣進行凈化處理后，達到大氣污染物排放要求。

1.1 平板顯示器制造廢氣污染物來源

平板顯示器生產(chǎn)過程按工序劃分為陣列生產(chǎn)工序、彩膜生產(chǎn)工序、成盒生產(chǎn)工序、有機蒸鍍生產(chǎn)工序、模組工序等。

酸性廢氣主要來自陣列生產(chǎn)工序濕法刻蝕酸性原料揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣，以及準(zhǔn)分子激光退火裝置定期排放的介質(zhì)氣體，主要污染物為HCl、氟化物等酸霧。

堿性廢氣主要來自陣列、彩膜生產(chǎn)工序顯影過程產(chǎn)生的堿性揮發(fā)性物質(zhì)，主要污染物為NH。

干法刻蝕和化學(xué)氣相沉積廢氣主要來自于一些氣體原料在進行干法刻蝕過程產(chǎn)生一定量的反應(yīng)廢氣和未反應(yīng)的原料氣，主要污染物為N0、SiH、NH?、NF?、PH?、BF?、Cl?、SF6、CF4、C4F8、、BCl?。和反應(yīng)廢氣氟化物和氯化物等。

有機廢氣主要來自于生產(chǎn)過程中有機原材料中有機氣體的揮發(fā)，主要污染物非甲烷總烴。

2.平板顯示器制造廢氣處理方法

平板顯示器制造生產(chǎn)過程產(chǎn)生廢氣主要為酸性廢氣、堿性廢氣、干法刻蝕和化學(xué)氣相沉積廢氣、有機廢氣，對于這些廢氣處理方法有哪些呢？接下來，天浩洋環(huán)保小編詳細介紹平板顯示器制造廢氣處理方法。

2.1 酸性廢氣處理方法

酸性廢氣主要污染物為HCl、HF、氮氧化物等。該類廢氣主要使用氫氧化鈉濕式填料洗滌塔進行酸堿中和凈化處理，洗滌液選擇濃度為4%的氫氧化鈉溶液，廢氣經(jīng)洗滌塔酸堿中和處理后，達到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。

2.2 堿性廢氣處理方法

堿性廢氣主要廢氣污染物為NH?。該類廢氣主要是用硫酸濕式填料洗滌塔進行酸堿中和凈化處理，洗滌液選擇濃度4%的硫酸溶液，廢氣經(jīng)洗滌塔酸堿中和處理后，達到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。

2.3 干法刻蝕和化學(xué)氣相沉積廢氣處理方法

干法刻蝕和化學(xué)氣相沉積廢氣污染物主要為SO?、HCl、氟化物、NOx、NH?、Cl?等，該類廢氣經(jīng)過堿性濕式填料洗滌塔酸堿中和凈化處理，洗滌液選擇濃度為4%的NaOH和NaHSO?溶液，凈化后廢氣通過排氣筒高空排放。

2.4 有機廢氣處理方法

有機廢氣主要污染物非甲烷總烴。該類廢氣主要處理方法有活性炭吸附法、燃燒法、UV光解凈化法，下面詳細介紹非甲烷總烴廢氣處理方法。

（1）活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學(xué)鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達到凈化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無顆粒物、無粘性物、常溫的低濃度有機廢氣凈化處理。

活性炭凈化率高（活性炭吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資低。在吸附飽和以后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以后的活性炭也是需要找專業(yè)人員進行危廢處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法只在揮發(fā)性有機物在高溫及空氣充足的條件下進行完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m3 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m3 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃氣體，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會導(dǎo)致二次污染。

通過熱力燃燒或者催化燃燒法處理有機廢氣，其凈化率是比較高的，但是其投資運營成本極高。因廢氣排放的點多且分散，很難實現(xiàn)集中收集。燃燒裝置需要多套且需要很大的占地面積。熱力燃燒比較適合24小時連續(xù)不斷運行且濃度較高而穩(wěn)定的廢氣工況，不適合間斷性的生產(chǎn)產(chǎn)線工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱力燃燒較低，但凈化效率也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質(zhì)（如硫化物）等造成中毒失效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控制非常嚴格，否則會造成催化燃燒室堵塞而引起安全事故。

（3）UV光解凈化法

UV光解凈化法利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧（即活性氧），因游離氧所攜帶正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進而產(chǎn)生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協(xié)同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物質(zhì)降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、CO2和H2O。

UV光解凈化法具有高效處理效率，可達到95%以上；適應(yīng)性強，可適應(yīng)中低濃度，大氣量，不同有機廢氣以及惡臭氣體物質(zhì)的凈化處理；產(chǎn)品性能穩(wěn)定，運行穩(wěn)定可靠，每天可24小時連續(xù)工作；運行成本低，設(shè)備耗能低，無需專人管理與維護，只需作定期檢查。UV光解法因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設(shè)備性能安全穩(wěn)定，特別適用于化工、制藥等防爆要求高的行業(yè)。

以上關(guān)于平板顯示器制造廢氣處理方法介紹，希望可以幫到您，其實對于平板顯示器制造廢氣處理，一般是需要根據(jù)廢氣的濃度、產(chǎn)生量、廢氣成分、如何收集等方面進行設(shè)計收集處理。如果您有平板顯示器制造廢氣需要凈化處理，可以隨時撥打400 808 2272電話，咨詢天浩洋環(huán)保,為您提供平板顯示器制造廢氣處理方案及設(shè)備。